位于极紫外或软X射线波段的电磁波拥有超短的波长和大量元素的吸收边，是研究材料科学和纳米科学必不可少的工具。近来，随着极紫外光刻技术敲开了5nm制程的手机芯片的大门，极紫外光的应用也正式地“走入”了千家万户。然而至今，有效获得极紫外或软X射线光源仍是困扰科学家们的重要难题。虽然同步辐射加速器和自由电子激光器等大型极紫外或软X射线可解燃眉之急，但是，高能耗、高造价和大体积大大地限制了其应用。另辟蹊径，经过35年磨练的基于极端非线性光学的高次谐波技术已经成为了一种小体积，低造价，低功耗，且拥有较高功率和高稳定度的极紫外或软X射线激光光源，已经在材料科学和半导体芯片领域初露锋芒。本报告将从极紫外激光技术的难点出发，讨论高次谐波极紫外激光技术的原理及其优越性，最后介绍其在纳米成像技术，半导体检测以及量子计算机芯片研发中的重要应用。